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PR500/510等离子灰化机

PR500/510等离子灰化机高频输出 50~500W,反应腔 Φ215305mm 低温等离子经典桶型。 PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制低温等…

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PR500/510等离子灰化机

高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm  

低温等离子·经典桶型。  

PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途  

● 去除光刻胶

● 部品清洗

● 界面活性处理

● 微研磨

● 硅晶圆,玻璃基板对应  

特征  

● 大口径(Φ215mm)石英反应腔

● 小型一体化设计

● 操作简单的触摸屏方式(PR510型)  

规格  

型号

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应部

反应腔

石英 Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2CF4

控制

手动

触摸屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438×D520×H760mm

参照规格书

重量

60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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