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PiPi小型等离子装置

PiPi小型等离子装置高频输出 200W,反应腔 W130D130mm 经济型、.适合于研究开发用小型等离子清洗机。 特点 ● 经济型等离子清洗…

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PiPi小型等离子装置

高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm  

经济型、.适合于研究开发用小型等离子清洗机。  

特点  

● 经济型等离子清洗机

● 简单的等离子处理操作

● 等离子模式为RIE模式  

用途  

● 去除有机物

● 树脂/膜等表面改质

● 改善粘接效果

● 提高亲水性

● 去除金属氧化物

● 蚀刻  

等离子  

等离子为气体发生电离状态,形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态,其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。  

等离子RIE(Reactive Ion Etching 方式)

RIE是去除物体表面的有机物污垢,同时去除无机物的.合适的清洗方式。

RIE方式为加速离子层中的阳离子,冲击污染表面的物理性清洗方式。

规格  

型号

PM100

等离子方式

RIE模式

电极构造

平行平板式

高频输出

Max200W

频率

13.56MHz

电极尺寸

W130×D130mm

外形尺寸

W438×D520×H565mm

反应气体

Ar

填充气体

N2或干燥空气

反应气体流量计

流量计

控制方式

程序控制

电源

单相100V

真空泵(选配)

油泵 135L/min50Hz

 

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